0190-51546REV03 INFICON真空计

描述

0190-51546REV03   INFICON真空计

产品参数

• 测量范围：1×10^-9 ~ 1000 Torr
• 精度：+/- 15%（在10^-8 Torr ~ 10^-3 Torr 范围内）
• 重量：1.1 磅（约0.5 公斤）
• 尺寸：直径 2.75 英寸（约70毫米），高度1.75 英寸（约44毫米）

产品规格

• 真空计种类：Bayard-Alpert Ionization Gauge
• 阴极材料：Iridium
• 最大耐热温度：200°C
• 输出信号：0 ~ 10V
• 供电电压：15 ~ 30VDC

应用领域

• 半导体加工
• 材料科学研究
• 光学薄膜沉积
• 航空航天工业

产品使用说明

1. 确认真空计的电源和输出信号连接正确。
2. 将真空计安装在需要测量真空度的位置。
3. 打开电源，等待真空计预热5分钟。
4. 通过输出信号读取真空度数据。

中文产品介绍

INFICON 0190-51546REV03 真空计是一款高精度的Bayard-Alpert离子化真空计。该真空计可测量范围广，精度高，重量轻，尺寸小，非常适合用于半导体加工、材料科学研究、光学薄膜沉积、航空航天工业等领域的真空度测量。

技术说明

Bayard-Alpert离子化真空计通过将真空中的气体离子化来测量真空度。当气压很低时，仅有很少的气体分子存在，这些分子会在真空计内的电场下被离子化，离子会沿着电场移动并被计数器捕获，从而测量出真空度。

常见问题解答

1. 真空计输出信号不稳定怎么办？ 答：确认电源电压是否正常，防止电压波动对输出信号产生影响。同时，检查真空计是否安装正确，防止外界干扰对输出信号产生影响。
2. 真空计读数异常怎么办？ 答：确认真空计是否受到外界干扰，比如电磁干扰、机械振动等。同时，检查真空计的阴极是否需要更换。

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